隨著自動化測量技術的發(fā)展，測量顯微鏡在傳統(tǒng)的基礎上有了較大的改變，主要表現(xiàn)在兩個方面：一是成像瞄準系統(tǒng)已發(fā)展為使用CCD(ChargeCoupledDevice)成像瞄準技術。所成的像通過數(shù)據(jù)線傳送到計算機并顯示出來，這種成像方式比原來在目鏡視場中所形成的圖像更加直觀清晰，大大降低了對線瞄準誤差：二是讀數(shù)裝置由原來的玻璃線紋尺變?yōu)楣鈻懦哂嫈?shù)。所得的數(shù)據(jù)直接傳到計算機，通過特定的軟件程序自動評定計算。不僅消除了人員的讀數(shù)誤差，同時還大幅度地提高了測量效率。

　　測量顯微鏡是采用用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試儀器。廣泛地適用于計量室、生產作業(yè)線及科學研究等部門。工作臺除作X、Y坐標的移動外，還可以作360度的旋轉，亦可以進行高度方向做Z坐標的測量；采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進一步可連接CCD電視攝像頭，作工件的輪廓放大；亦可連接計算機進行數(shù)據(jù)處理等測量。

　　MF測量顯微鏡特點可觀察清晰無閃光正像，且視場開闊。測量精度在同類設備中Z高（符合JISB7153標準）。使用經過驗證的FS光學系列高NA物鏡（長工作距離型）。金相顯微鏡和測量顯微鏡的功能相結合，提供了高分辨率觀察和高精度測量的方法。照明裝置（反射／透射）可選用高亮度LED燈泡或鹵素燈泡（必選）。利用可變孔徑光闌（反射／透射）可進行無衍射觀察測量。